1.1. 97-02-18090
1.2. Трушин Юрий Владимирович
1.3. Исследование динамических характеристик точечных дефектов 
     в низкоразмерных гетероструктурах с помощью радиационных 
     методов
1.4. а
1.5. 1999
1.6. 1
1.7. За истекший период проведена работа по комплексному
     исследованию фундаментальных динамических характеристик
     точечных дефектов основанная на экспериментах по облучению
     специально выращенных низкоразмерных гетероструктур,
     компьютерному моделированию соответствующих процессов и
     теоретическому анализу полученных данных. В рамках работы
     разработаны методики ВИМС и ОЭС-профилирования
     гетероструктур в диапазоне энергий 1-10 кэВ для ионов
     цезия, кислорода, аргона. Эпитаксиальными методами был
     изготовлен ряд гетероструктур на основе GaAs с тонкими
     (1-10 монослоев) маркерными слоями AlAs или InAs. Выполнены
     эксперименты по ВИМС-профилированию этих структур.

     Разработана оригинальная экспериментально-теоретическая
     методика определения пороговых энергий смещения примесных
     атомов в материале на основе сравнения экспериментальных
     профилей травления структур содержащих тонкие маркерные
     слои и расчетных профилей, полученных при варьировании
     энергетических параметров точечных дефектов. Проведены
     серии модельных расчетов по травлению GaAs мишени с тонкими
     маркерными слоями AlAs, InAs и дельта-слоями, легированными
     кремнием. Определены пороговые энергии смещения
     изоэлектронных примесных атомов Al и In в GaAs. Показано,
     что пороговая энергия смещения примесных атомов в материале
     может существенно отличаться как от пороговых энергий
     смещения основных атомных компонент материала (то есть
     атомов Ga и As в GaAs), так и от пороговой энергии смещения
     данной атомной компоненты как основной (то есть In в InAs).

     Разработан расчетно-теоретический комплекс для
     моделирования диффузионных процессов и исследования их
     параметров (таких, как энергии активации миграции, энергии
     диссоциации комплексов и т.д.) в гетероструктурах и 
     многокомпонентных твердых  растворах. Работоспособность 
     комплекса проверена при помощи моделирования процессов
     происходящих при высокотемпературной высокодозной
     имплантации карбида кремния ионами Al и N и сравнения с
     имеющимися экспериментальными данными.
1.8. Физико-Технический Институт им. А.Ф.Иоффе Российской
     Академии Наук
     Исполнители проекта согласны с опубликованием (в печатной
     и электронной формах) научных отчетов и перечня публикаций
     по проекту