3.1. 99-02-16796 3.2. Теоретическое исследование электронных и оптических свойств и процессов роста полупроводниковых гетероструктур с квантовыми точками и напряженными квантовыми ямами. 3.3. 02-200, 02-202, 02-205 3.4. Моделирование роста дважды разориентированной поверхности. Определение параметров ростовой модели. Исследование влияния внутренних напряжений на эволюцию формируемой дефектной структуры при высокодозной и высокотемпературной имплантации карбида кремния ионами азота и алюминия. Теоретическое исследование оже-рекомбинации в полупроводниковых квантовых точках, оже-захвата электронов в квантовые точки, оже-рекомбинации в объемных полупроводниках с учетом многократного рассеяния носителей, оже-рекомбинации в полупроводниковых квантовых ямах в поперечном квантующем магнитном поле. Теоретическое исследование циклотронного резонанса в квантовых ямах на основе разъединенных гетеропереходов II типа. Теоретическое исследование процессов фотовозбуждения носителей с уровней размерного квантования квантовых точек в состояния непрерывного спектра зоны проводимости и валентной зоны. Теоретическое исследование усиления и рассеяния излучения в лазерной структуре при различных распределениях квантовых точек. Определение минимального числа квантовых точек, обеспечивающих генерацию. 3.5. Разработана физическая модель процессов эволюции структуры карбида кремния при имплантации ионами азота и алюминия и отжиге с учетом полей напряжений, обусловленных радиационными дефектами, проведены расчеты с помощью разработанного программного компьютерного комплекса DYTRIRS-MGEAR, осуществлены сравнения расчетных и экспериментальных результатов. Проведено исследование оже-рекомбинации в полупроводниковых квантовых нитях в широком диапазоне температур. Проведен расчет коэффициентов оже-рекомбинации в полупроводниковых квантовых ямах в широком диапазоне температур. Развиты методы численного расчета коэффициентов оже-рекомбинации в полупроводниковых гетероструктурах на основе квантовых ям. Показано, что в широком диапазоне температур коэффициенты оже-рекомбинации для процессов с участием двух электронов и тяжелой дырки и электрона и двух тяжелых дырок с переходом одной из них в спин-орбитально отщепленную зону имеют слабую температурную зависимость и немонотонно зависит от ширины КЯ. Построены волновые функции и найден спектр носителей в цилиндрической квантовой нити в рамках 4-х зонной модели Кейна. Изучены эффект выжигания пространственных провалов инверсии населенности и обусловленная им многомодовая генерация в лазере на квантовых точках (КТ); Исследована область допустимых параметров структуры на КТ, в пределах которой возможна генерация лазерного излучения; Найдены спектр и область локализации электронов в идеальных 2D и 3D сверхрешетках из квантовых точек в постоянном электрическом поле; Рассмотрены блоховские осцилляции в таких сверхрешетках при различных начальных распределениях электронов. 3.6. Разработана физическая модель эволюции дефектной структуры карбида кремния при имплантации ионами азота и алюминия и отжиге. На основе этой модели, учитывающей поля упругих напряжений сжатия, созданных комплексами межузельных атомов, с помощью программного компьютерного комплекса DYTRIRS-MGEAR рассчитаны распределения дефектов, удовлетворительно согласующиеся с экспериментальными RBS-данными. Сравнение теоретических и экспериментальных результатов позволило установить иерархию дефектов, образованных в процессе имплантации, а также выявить роль упругих напряжений сжатия на диффузию межузельных атомов. Проведен расчет спектров и волновых функций носителей в цилиндрических квантовых нитях в рамках 4-х зонной модели Кейна. Исследована оже-рекомбинация в квантовых нитях. Проведен численный расчет коэффициентов оже-рекомбинации в гетероструктурах с квантовыми ямами в широком диапазоне температур. Показано, что зависимость коэффициентов оже-рекомбинации для двух основных оже- процессов CHCC и CHHS от ширины квантовой ямы является немонотонной. Рассчитан порог многомодовой генерации, обусловленной эффектом выжигания пространственных провалов инверсии населенности в лазере на КТ. Показано, что в отличие от обычных полупроводниковых лазеров на квантовых ямах и с объемной активной областью, порог многомодовой генерации в лазерах на КТ контролируется термическими выбросами носителей из точек, а не их диффузией. В связи с этим в лазерах на КТ эффект выжигания пространственных провалов проявляется существенно сильнее, а порог многомодовой генерации может быть намного ниже, чем в лазерах с объемной активной областью и лазерах на квантовых ямах. Показано, что уменьшение дисперсии размеров КТ приводит к существенному увеличению относительного порога многомодовой генерации. Показано, что порог многомодовой генерации растет с ростом температуры. Показано, что существуют критически допустимые параметры структуры на КТ, за пределами которых невозможна генерация лазерного излучения. Этими параметрами являются максимально допустимая дисперсия размеров КТ и минимально допустимые поверхностная концентрация КТ и длина резонатора. Показано, что при приближении параметра к своему критическому значению пороговый ток бесконечно возрастает, а относительный порог многомодовой генерации стремится к нулю (и следовательно число одновременно генерируемых мод резонатора бесконечно возрастает). Показано, что спектр электронов в идеальных 2D и 3D сверхрешетках из квантовых точек в постоянном электрическом поле может быть дискретным или непрерывным в зависимости от направления поля. В последнем случае ширина образующейся минизоны экспоненциально зависит от направления поля. Вблизи направлений, соответствующих непрерывному спектру, происходят резкие изменения области локализации электрона. Рассмотрены блоховские осцилляции в таких сверхрешетках при различных начальных распределениях электронов. Показано, что в отличие от одномерных сверхрешеток спектр осцилляций меняется с изменением направления электрического поля. 3.7. Впервые предложена адекватная теоретическая модель эволюции дефектов в приповерхностных слоях карбида кремния с учетом влияния полей внутренних упругих напряжений на диффузию межузлий при высокодозной имплантации ионами азота и алюминия. Впервые использованы граничные условия соответствующие гетеробарьеру конечной высоты для нахождения спектра и волновых функций носителей в цилиндрической квантовой нити в рамках 4х зонной модели Кейна с конечной величиной постоянной спин-орбитального отщепления. Впервые отмечена существенная роль эффекта выжигания "пространственных дыр" инверсии в лазерах на квантовых точках и дан его детальный анализ. Эти результаты чрезвычайно актуальны ввиду появившейся возможности практической реализации лазеров на КТ и важности рассмотренных проблем. Насколько нам известно, свойства 2D и 3D сверхрешеток из квантовых точек в постоянном электрическом поле ранее не изучались. 3.8. Хотя в литературе имеется большое количество экспериментальных относительно модификации структуры приповерхностных слоев карбида кремния, отсутствуют физические модели, адекватно описывающие эволюцию структуры таких пленок под воздействием падающих ионов. В литературе отсутствуют данные о коэффициентах оже-рекомбинации в квантовых нитях. Для нахождения спектра носителей в квантовых нитях и точках, обычно, в отличие от нашего метода, используются упрощенные граничные условия с бесконечной высотой гетеробарьеров. При расчете процессов излучательной и оже-рекомбинации в литературе обычно предполагается параболичность спектров носителей, что не соответствует действительности. Таким образом, полученные результаты соответствуют современному уровню мировой науки и обладают значительной степенью новизны. В мировой литературе до сих пор эффект выжигания "пространственных дыр" инверсии не обсуждался. Полученные результаты опубликованы в наиболее цитируемых журналах в соответствующей области и докладывались на наиболее авторитетных международных и российских конференциях. Они находятся на самом передовом рубеже физики фундаментальных процессов в полупроводниковых лазерах. В мировой литературе в последнее время стали появлятся работы, посвященные электрическим свойствам двух- и трехмерных массивов квантовых точек. Выполненные исследования 2D и 3D сверхрешеток в электрическом поле соответствуют мировому уровню. 3.9. Для исследования роста поверхности была создана и применяется программа динамического моделирования роста методом Монте-Карло, приспособленная для использования на персональном компьютере и описывающая процессы как роста, так и отжига на достаточно большой поверхности. Программа учитывает существенную анизотропию химических связей на поверхности ковалентных кристаллов. Для расчетов физических процессов, происходящих в многокомпонентных материалах при облучении, были использованы модифицированная компьютерная программа на основе кода GEAR, предназначенная для численного решения систем дифференциальных уравнений, описывающих диффузию и взаимодействие дефектов, а также программы TRIRS и DYTRIRS. Носители заряда в полупроводниках и полупроводниковых гетероструктурых были описаны в рамках 4х зонной модели Кейна. Это позволило учесть непараболичность спектра носителей и сложную валентную зону, что необходимо для правильного описания оже-процессов. Для расчета порога многомодовой генерации решалась система скоростных уравнений для свободных носителей и для носителей, локализованных в квантовых точках. Следующие процессы были учтены в этих уравнениях: захват в КТ и выброс из КТ, излучательная рекомбинация в КТ и в области оптического ограничения, диффузия носителей в области оптического ограничения в поперечном направлении (направлении инжекции носителей) и в продольном направлении (направлении вывода излучения). При расчете коэффициента усиления использовалась разработанная нами ранее теория неоднородного уширения линии усиления и пороговых характеристик лазеров на квантовых точках. Рассмотрение указанных проблем для лазеров на квантовых точках проводилось впервые. Использованные методы и подходы оригинальны, полученные результаты новы. Для нахождения спектра и волновых функций электрона были существенно модифицированы методы, развитые для описания одномерных сверхрешеток. 3.10.1. 9 3.10.2. 1 3.11. 5 3.12. 1 3.13. 0 3.14. 119744 3.15.1. Частичная оплата системного блока компьютера. 3.16.1.