ФТТ, 2010, том 52, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск   KOI  WIN  DOS 

Связанные с водой ловушки носителей заряда в термических пленках диоксида кремния, полученных в сухом кислороде

А.М.Емельянов

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН,
Санкт-Петербург, Россия
E-mail: Emelyanov@mail.ioffe.ru

(Поступила в Редакцию 14 сентября 2009 г.)

Методом лавинной инжекции электронов и дырок из кремния в сочетании с измерениями вольт-фарадных и вольт-амперных характеристик тока фотоинжекции электронов из контактов исследованы параметры ловушек электронов и дырок в термических пленках SiO2, полученных в сухом кислороде. Варьировались условия окисления, отжига и хранения структур. Получены подтверждения предложенных автором модельных представлений о связанных с водой ловушках в таких пленках. Обнаружена зависимость транспортных характеристик ловушек от времени контакта Si-SiO2-структур с атмосферным воздухом естественной влажности. Результаты могут быть применены для уменьшения деградационных процессов в приборах на основе Si-SiO2-структур, при разработке технологий электролюминесцентных приборов на основе Si-SiO2-структур, изучении транспортных характеристик некоторых молекул (например, воды), атомов и ионов в порах (структурных каналах), размеры которых сопоставимы с размерами молекул воды.

Работа частично поддержана НИИ \glqq Электрон\grqq.

 PDF версия (238Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2010, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster