Surface gettering of background impurities and defects in GaAs wafers
2001
, Semiconductors, v.35, 2
ISSN: 1063-7826
Страницы:
177 - 180
Авторы:Vlasenko,LS; Gorelenok,AT; Emtsev,VV; Kamanin,AV; Poloskin,DS; Shmidt,NM
Авторы (ФТИ):Vlasenko,LS; Gorelenok,AT; Emtsev,VV; Kamanin,AV; Poloskin,DS; Shmidt,NM
Подразделения:
DOI:http://dx.doi.org/10.1134/1.1349927
Scopus® times cited:7
Scopus® ID:2-s2.0-0035255495
Web of Science® times cited:7
Web of Science® ID:WOS:000166713200012
Полный текст:http://dx.doi.org/10.1134/1.1349927