Поверхностное геттерирование фоновых примесей и дефектов в пластинах GaAs
2001
, ФТП, т.35, 2
ISSN: 0015-3222
Страницы:
184 - 187
Авторы:Власенко,ЛС; Гореленок,АТ; Емцев,ВВ; Каманин,АВ; Полоскин,ДС; Шмидт,НМ
Авторы (ФТИ):Власенко,ЛС; Гореленок,АТ; Емцев,ВВ; Каманин,АВ; Полоскин,ДС; Шмидт,НМ
Подразделения: