On the self-structuring of single-crystal silicon wafers under inductive heating in vacuum
2014 , Semiconductors, v.48, 3
ISSN: 1063-7826

Страницы: 350 - 353
Авторы:Mynbaeva,MG; Lebedev,SP; Lavrent`ev,AA; Mynbaev,KD; Golovatenko,AA; Lebedev,AA; Nikolaev,VI
Авторы (ФТИ):Mynbaeva,MG; Lebedev,SP; Lavrent`ev,AA; Mynbaev,KD; Golovatenko,AA; Lebedev,AA; Nikolaev,VI
Подразделения:
DOI:http://dx.doi.org/10.1134/S106378261403018X Scopus® times cited:0 Scopus® ID:2-s2.0-84897807615 Web of Science® times cited:0 Web of Science® ID:WOS:000332739400013
Полный текст:http://dx.doi.org/10.1134/S106378261403018X