Особенности хлорид-гидридной эпитаксии нитридных материалов на подложке кремния
2014
, ФТП, т.48, 11
ISSN: 0015-3222
Страницы:
1573 - 1577
Авторы:Мынбаева,МГ; Головатенко,АА; Печников,АИ; Лаврентьев,АА; Мынбаев,КД; Николаев,ВИ
Авторы (ФТИ):Мынбаева,МГ; Головатенко,АА; Лаврентьев,АА; Мынбаев,КД; Николаев,ВИ
Подразделения: