Детектирование парамагнитных центров рекомбинации на поверхности пластин кремния
2024 , ФТП, т.58, 5
ISSN: 0015-3222

Страницы: 256 - 262
Авторы:Власенко,ЛС
Авторы (ФТИ):Власенко,ЛС
Подразделения:

DOI:https://doi.org/10.61011/FTP.2024.05.58762.6715
Полный текст:https://doi.org/10.61011/FTP.2024.05.58762.6715