Detection of paramagnetic recombination centers on the surface of silicon wafers
2024 , Semiconductors, v.58, 5
ISSN: 1063-7826

Страницы: 243 - 248
Авторы:Vlasenko,LS
Авторы (ФТИ):Vlasenko,LS
Подразделения:

DOI:https://doi.org/10.61011/SC.2024.05.59173.6715
Полный текст:https://doi.org/10.61011/SC.2024.05.59173.6715