КАК Я СРАЖАЛСЯ ЗА ОСТРОВ ТАЙВАНЬ

В четверг мы вскрывали установку.
Это происходит следующим образом: выключаются все насосы, создающие вакуум, температура всех источников и, так называемого, манипулятора, который держит и греет подложку, опускается до комнатной температуры. Через специальный клапан в установку напускается газообразный азот, постепенно вакуум ухудшается, и давление внутри становится чуть выше атмосферного. Теперь можно отвинтить гайки и снять необходимый узел, при этом за счет переизбытка давления воздух не потечет в установку, что было бы крайне нежелательно, а наоборот, из нее будет идти поток газообразного азота. Если в MBE установке растят структуры на основе GaAs, то она изнутри покрыта мышьяком. Частицы мышьяка могут попадать в атмосферу, поэтому везде, кроме ФТИ, извиняюсь, подобные мероприятия проводятся с использованием средств индивидуальной защиты, в простонародье называемых противогазами, или, на худой конец, респираторами.
В принципе, при взаимодействии мышьяка с водой возможно образование арсина AsH₃, чрезвычайно опасного и ядовитого газа. Его аналог, фосфин, PH₃, был основой отравляющего газа "иприт", использованного немцами в первую мировую, на печально известной реке с одноименным названием. Фильтрующие противогазы в данном случае не помогают, т.к. размер молекулы подобных газов слишком мал. Опасной для здоровья является пребывание в помещении с уровнем арсина 50 ppb (1 ppb - одна частица или молекула на миллиард) 8 часов, 150 ppb 2-3 часа, и 600 ppb -быстрая, но мучительная смерть.
Но для того, что бы арсин образовался, похоже, нужна вода, а установка вентилируется чистым азотом. Как то не задумывался я раньше на эту тему.
Напустили мы азот, сняли фланец с галлиевой заслонкой - нам надо было ее поменять. Через несколько секунд датчик, реагирующий на арсин, нервно запипикал, выдав уровень 50 ppb. Странно это. Смешно мне сначала было видеть смятение на лицах моих коллег. Перед вскрытием вакуум в установке был 1е-8 Тор (мм рт. столба) при выключенных насосах (при включенных 1е-10 Тор, т.е. давление в десять тысяч миллиардов раз ниже атмосферного), НУ нет там ничего, ничегошеньки, может так изредка, одна молекула безумная пролетит туда сюда. Что бы удостоверится, что датчик глючит протянули трубку от более серьезной аппаратуры, обеспечивающей безопасность MOCVD систем (эпитаксия из металлорганических соединений), где впрямую используется арсин. Я потом проверил этот переносной датчик, он и вправду глючный, например, реагирует на спирт, что дало мне повод строго оглядеть своих коллег и поинтересоваться, не нажрался ли кто вчера вечером.
Запихали конец трубки прямо в порт снятой заслонки, другой коней к датчику, расстояние метров 12. Одна секунда…две… минута… вторая пошла, все ОК - 0 ppb. Напряжение спадает, лица светлеют и расслабляются, но не тут то было.
Вдруг пи-пи-пи, резко так, противно, свет красный мигает, а показание 1000 ppb !!! Что тут началось. В clean room окромя двух MBE систем, еще три MOCVD, и прочая хренотень, около 30 человек, одна треть из них - девушки и зрелые женщины. Мы подключили нашу трубку (совершенно случайно) к новому датчику, который еще не выведен на общую сигнализацию, и общего сигнала тревоги не последовало. Иначе совсем была бы развлекуха. Все здание осветилось бы красным светом и призывно завыли бы сирены. Чен Жу (самый симпатичный парнишка тут, я о нем позже напишу) начал бегать и кричать по-китайски, что то вроде: "Уеб---й, уеб---й…" Как в том анекдоте. Я тоже на одного натыкаюсь, он смотрит доверчиво так, я его спрашиваю, взвешено и со значением: "Do you speak English?", он в ответ "Yes, a little". Мое лицо резко меняется и я ему кричу в ухо: "Уе--ай!!!" . Вроде как понял и засеменил к двери. В общем, метались мы среди всех этих installations, да вытаскивали мирных китайчиков из нагретых рабочих мест. Когда уже все "покинули помещение" (они молодцы - женщины покидали первыми), я вспомнил, что один коллега остался внутри, он там ковырялся с форвакуумным насосом на соседней установке и не слышал общих воплей. Я обратно. Не ребята, я не герой. Это был как раз тот парень, что дает мне машину, а главное, он обещал ее и на следующие выходные. Ну не мог я дать ему умереть. Спас владельца.
Потом примчались люди из специальной компании из Science Park (Science Park - это что то вроде отдельного города, в котором находится около 300 компаний, выпускающих электронную продукцию, вся знаменитая тайваньская электроника сосредоточена в 2 км от моего института. По моим оценкам в этом месте выпускается 10 процентов мировой электроники). Одели полностью изолирующие костюмы и ломанулись на разведку вовнутрь. Уровень арсина в помещении 0 ppb. Закрыли мы установку, откачали, решили вскрываться в пятницу.
В тот вечер у меня назначена встреча с одним американцем, который тут живет уже пять лет. Я познакомился с ним в English speaking club, где собираются иностранцы и китаянки, как бы изучающие английский язык, а реально охотящиеся за американцами. В клубе - дискуссии на разнообразные темы и танцы. Пришлось продемонстрировать гопака и макарену. Американец достаточно интересный парень, у него 42 года за спиной и накаченная шея. Милый малый. Он говорит, что его папа изменил историю США, но я как то не понял то ли потому, что его зачал, то ли потому, что почту реформировал. Все сыновья крутые и обеспеченные, но в семье не без урода, и он уже 20 лет скитается по свету, живя то в Пуэрто-Рико, то в Лондоне, то на Тайване. Начинал 30 бизнесов, и тридцать раз прогорал. Работает здесь (впрочем, как и все) в Science Park, пишет manual на хорошем technical English, открыл (31 бизнес) частную школу английского языка, доволен жизнью и собой. Больше всего мне в нем нравится то, что я хорошо понимаю его английский. Немудрено, прожив всю жизнь среди диких племен, он научился говорить очень четко и медленно. Он заехал за мной на мотоцикле, и мы поехали в центр, в кафе на центральной площади. Там тоже повышена концентрация иностранцев, а стало быть, и хорошеньких китаянок. Хозяйка, молодая девчонка, хорошо говорит по-английски и ее boyfriend из Ницы. Сидят всякие уроды из Европы с противными козлиными бородками, пьют пиво, тискают китайских женщин. Мой Боб меня малость утомил, так как все хочет научить меня жить: "You must have a goal of your life, if now you can not say what do you really want, I can say you, I can help you to build your brains, you should save money, save your money, fucking money, save your fucking money… и т.д." Т.к. английский язык не отличается разнообразием ругательств, то вскоре его речь потеряла былую красоту и насыщенность и стала несколько однообразной. Литровая кружка пива дошла до середины, и я огляделся вокруг. В следующую секунду я перестал быть расистом.
Сверкая широко расставлеными глазками, мне улыбалась маленькая китаянка. Она сидела с подружками и все время смеялась, обнажая ровные абсолютно белые зубки. Губы созданы для поцелуя, налитые и припухшие. Следующая половина кружки прошла под сияние очаровательной улыбки. Боб встал, подошел к хозяйке кафе, она периодически подсаживалась к этим девочкам, и просто так заявил "My friend is crazy about this lady, can you help me to introduce him". То, что я русский, интригует. Это не Европа, где, что бы хоть как-то остановить разочарование, наползающее на лицо собеседника, приходится быстренько добавлять, я из Санкт-Петербурга. Здесь же все знание о России заканчивается на Moscow, Gorbatchev, Eltsin, vodka. Это правда ! а не подражание рассказам про Запад конца восьмидесятых.
Зовут ее КоКоЛи, ее английский тускнее, чем улыбка. Боб уверяет меня, что плохой английский не помеха и даже украшает красивую девочку, и мы договариваемся о встрече на завтра в том же кафе в десять. Обратно Боб гнал под 100 по ночному КсинЧжу.
Я как всегда мало спал, часов 5, в семь надо уже вставать.
В пятницу всем обитателем clean room кроме MBE team велено сидеть в офисе и пялиться в компьютер. Я тогда еще думал, что был сбой в электронике и что арсина реально не было, т.к. полностью не доверял переносному датчику, а стационарный мог глюкануть. Они меня спрашивают: "было ли такое в вашей лаборатории ?", я говорю, что нет, "правда у нас нет датчиков на арсин". "Ну тогда понятно", "что понятно? посмотрите на меня, я лучший датчик".
Мы подготовили два изолирующих противогаза, подтащили пару баллонов с воздухом. Подготовили три датчика, один portable, другой от MOCVD, третий нам оставили ребята, что приезжали из профессиональной компании, ему мы решили и доверять.
Теперь о команде, на моей установке три Ph.D.: Джи Щя, И Цо, Ли Дзжо. Мой одесский друг говорит, что, когда я произношу их имена, они должны писаться от страха, уж больно много энергии я вкладываю в каждый слог, делая при этом страшное лицо. Все очень неплохие ребята, но пока опыта реальной работы маловато, да и интенсивность труда тут очень низкая. На соседней: спасенный мной толстячок Пай Йонг и Чен Жу. Чен Жу очень классный парень по всем параметрам. Он тут уже работал, когда их установку монтировали (три года назад), отлично рубит в железе и оборудовании, лучше других чувствует физику, английский тоже лучше других, да и внешность очень приятная, а главное он очень быстро и четко работает. Проблема здесь в том, что он единственный Mr., все остальные Ph.D., что несколько осложняет отношения.
Снимаем заглушку, что вчера поставили на место порта от галлиевой заслонки, минут через пять все датчики начинают детектировать арсин, немного порядка 50 ppb, мы выбегаем в соседнее помещение. Чен Жу и я одеваем противогазы, подключаемся к большому баллону с воздухом и вперед. (Начальник наш уехал в Штаты как раз в этот день, и никто не может мне запретить рисковать, да и деваться мне некуда, все кроме Чен Жу слабоваты для такой работы.) Остальные в соседнем помещении следят за MOCVDишным датчиком. Следующим по очереди у нас RF-plasma source, он внизу, и дырка из-под него больше, снимаем, датчики в зашкал. Коллеги вопят из соседней комнаты, мол назад, назад, ну а толку то, надо ведь установку закрыть, что бы арсин не натекал в комнату. Чен Жу - понтовщик вроде меня, начинает кричать, мол давай отходи, отстреливаясь, мол воздуха в баллоне мало осталось (огромные баллоны вылетали только так - дышали мы как лошади), на двоих может не хватить, мол я сам заглушку поставлю. Я ему в ответ по-русски "пошел, мол, на …, я тебя не брошу". Коллеги давно слиняли и смотрят на нас из коридора через стеклянную стену. Кое-как, мешая друг другу, ставим заглушку, уровень арсина спадает, пикание прекращается, можно спокойно работать. Обсуждаем наши действия, ошибки.
Нам надо еще вынуть источник галлия, и три смотровых окошка почистить. Работаем с перерывами, снимаем один элемент, ставим заглушку. Потом делаем все необходимые операции, и все заново, снимаем заглушку, ставим элемент. На все про все уходит часов 5, с перерывами, конечно. Воздухом свежим подышать, да баллон поменять. Парни нам помогают, одевают на нас противогазы, а сверху так любезно натягивают марлевую шапочку. Вообще это особый класс эмоций, когда крутишь гайки, а в 10 см от твоих глаз - дырка в ад, откуда арсин хлещет. Все лицо сжато в комок - сильно противогаз затягиваем, что бы ни одна particle не смогла penetrate. За спиной болтается баллон, а от него шланг тянется к большому баллону, места мало, обзор плохой. Особенно тяжело ставить источник на место, надо ведь что бы прокладка не сбилась, а источники тут раза в три побольше наших на Ribere.
Зато все как в кино, сил невпроворот, сосредоточенность на лицах и упругость в мыжцах. Перед каждой новой операцией готовим все заранее, ключ на пол дюйма, узкогубцы, плоские пинцеты, спирт (для протирки, придурки), заглушки, шайбы, гайки, все должно быть под рукой. Останавливаемся, смотрим пристально друг другу в глаза, чуть заметно киваем головой и вперед. На удивление работаем быстро, четко, слажено и красиво. Я даже и не думал, что так умею.
Когда все закончено жмем друг другу руки, глухо произнося "Good job", пьем залпом по литру молока (один из начальников принес), потом идем сдавать кровь.
Я взял ключи от машины, поспал часик, и мы моим одесским другом Андреем поехали в качку. Зал был закрыт, мы вернулись на кампус и проплыли свой законный километр. В эти выходные он не мог присоединится к моему скитанию по острову, готовился к докладу. В девять я выехал и старенькая Тойота заурчала в сторону центра. В кафе сидел Боб с длинным симпатичным американцем, который только что прилетел из Лос Анжелеса. При нем уже была китаяночка, свободно говорящая по-английски. Я подсел к ним, заказал Mandarin Ice Tea. Вскоре пришла КоКоЛи с подружкой, они взяли по коктейлю из молока папайи, подружка мне вдруг понравилась больше. Посидели часик, сдвинув два столика, мешая английскую и китайскую речь. Я подошел к стойке, заплатил за себя and these two ladies, они оседлали свои мопеды и поехали по домам.
(На следующей недели мне звякнул Боб: "Alex, thank you very much that you paid for everybody at our tables, it was so unusual, thanks a lot". А я то все выходные мучался: ну как эти две пигалицы смогли столько намолотить, ведь вроде по коктейлю всего взяли, да и цены в кафе небольшие… правда, я отлучался разок минут на десять … )
Я вернулся на кампус, собрал вещи, спальник, одеяло, подушку, чуть хавки. Час ночи. Сел в машину включил свет и развернул карту. Через десять минут я гнал по фривэйу на север, в сторону океана.
Что было потом напишу как-нибудь попозже, а сейчас не могу удержаться, что бы не рассказать совсем недавнюю историю. Вчера вечером болтались мы с Андреем по магазинам в downtown. Город жил ожиданием тайфуна Chey-Der, который вот уже третий день бушует в океане, и потихоньку наползает на славный остров. Сильный ветер раскачивает рекламные щиты и хилые деревья, словно тренируя их перед настоящим испытанием. По телу разливается свежий воздух, пахнущий океаном. Город в легком возбуждении. Дождя пока нет, ветер срывает с облаков отдельные капли и швыряет их в лицо. Прохожие нам улыбаются, подмигивают, "Typhoon is coming". В одном супермаркете мы встречаем КоКоЛи, она работает продавцом в отделе мужских сорочек, договариваемся выпить по одному дринку, когда она закончит работу. Там поблизости есть японский ресторан, где сидишь или лежишь прямо на стеклянном полу, вокруг водопады, а под тобой плавают разноцветные рыбки. Болтаемся по store department, ждем КоКоЛи. Я все пристаю к Андрею, "Андрюха, смотри сколько продавщиц, выбирай, я с КоКо договорюсь". Он треплется "скажи пусть эту завернет, но со скидочкой". Смотрю, одна девчонка, ну прелесть как хороша, и личико, и фигурка, но прыщавенькая. Я прошу ее подорбрать джинсы моего размера, что, вследствии их некоторого несоответствия местному стандарту, всегда вызывает оживление среди смешливых молоденьких продавщиц. "Ну смотри какая хорошенькая", "Да, ничего, но уж больно прыщавая", "Да брось ты, прыщики выдавить можно", он так еще раз внимательно смотрит не нее: "Да ты чего, у меня нет столько времени".
Потом трепались с КоКо в ресторане, от смеха я как то вытянулся на полу и засучил голыми ножками в воздухе (я тут в основном в шортах хожу). На нее производит впечатление растительность на моих ногах. Я ее успокаиваю: "Ты не видела грудь Андрея". Он тут же с готовностью задирает футболку. Надо было видеть ее лицо. Она сидела молча минуты две, а потом тихо спросила: "can I touch ?"

P.S. История с арсином помогла мне эффектно закончить Russian-Taiwan HiTech Forum, который проходил в Тайпее с большой помпой. Когда нас везли из отеля на двух больших черных машинах в Conference Palace, по радио передали, что приехала делегация элиты русской фундаментальной полупроводниковой науки для налаживания тесной кооперации с тайваньской индустриально ориентированной наукой. Показывали по телику даже. Так, в принципе, все убого изнутри и так шикарно снаружи, не верьте корреспондентам… Мой доклад был последним. Так как я проработал перед форумом в ИТРИ два месяца то помимо научных изысков, я дожен был поделиться с мировой общественностью своими впечатлениями и идеями по поводу joint research and development. Ну разве я мог закончить свой доклад иначе. "Три недели назад, во время регламентных работ по обслуживанию установки молекулярно-пучковой эпитаксии, сложилась наиболее опасная и трудная ситуация, возможная в данном случае, из установки пошел смертельно ядовитый газ - арсин. (Пауза.) Честно говоря, в первый момент мы не были готовы к этому… Работали мы четко, слаженно, и быстро, поддерживая друг друга и веря в друг друга. Hand to hand, shoulder to shoulder. And at that time I clearly realized, that together we can do the excellent job. Thank you very much for your attention".

Короче, нравится мне тут.

Алексей Ковш
Тайвань 2000