Эффективный метод инжекции зарядов из зонда атомно-силового микроскопа применен для инжекции зарядов в нано тонких окислах кремния с встроенными нанокристаллами кремния и германия, которые являются перспективным материалом для разработки новых систем электрической памяти большой емкости. Выполненные исследования латерального дрейфа и диффузии зарядов в таких слоях послужили основанием для оптимизации технологических процессов приготовления слоев. Обнаружена возможность существенного снижения приборного уширения области зарядки за счет измерения градиента силы электростатического взаимодействия вместо ее абсолютной величины. Усовершенствование методики локальной зарядки позволило получить первые рисунки с разрешением 50 нм и временем сохранения заряда в десятки часов, что превышает достигнутый ранее мировой уровень (100 нм и один час).