Название:	Создание модели порообразования в кремнии p-типа при жидкофазном анодировании
Грантодатель:	РФФИ
Область знаний:	03 ХИМИЯ И НАУКИ О МАТЕРИАЛАХ
Научная дисциплина:	03-610 Химия новых неорганических функциональных и наноразмерных материалов
Ключевые слова:	электрохимическое анодирование, анизотропия порообразования, морфология пористого кремния
Время действия проекта:	2014 2015
Тип:	исследовательский
Руководитель(и):	Жарова,ЮА
Подразделения:	лаб. мощных полупроводниковых приборов (Векслера,МИ)
Код проекта:	14-03-31788
Финансирование 2014 г.:	400000,00
Исполнители:	Ли,ГВ: лаб. мощных полупроводниковых приборов (Векслера,МИ) Черниенко,АВ : лаб. мощных полупроводниковых приборов (Векслера,МИ)

Целью настоящего проекта является исследование анизотропии порообразования кремния, морфологии пористого кремния в зависимости от кристаллографического направления, уровня легирования, состава электролита и режимов анодирования и получение в процессе работы закономерностей, которые способствуют созданию модели порообразования в кремнии. Мы предлагаем в своей работе новый метод подробного изучения процесса анодирования кремния с широким спектром входных параметров с помощью маски wagon wheel. В работе будет исследован процесс порообразования для различных кристаллографических направлений в кристаллах кремния р-типа проводимости в зависимости от уровня легирования подложки, условий анодирования и состава электролита. В сочетании с другими методами исследования (электронная микроскопия, гравиметрия, вольтамперометрия) будет определена роль различных факторов, отвечающих за морфологию пор и скорость распространения пористого фронта. Будет предложена модель для объяснения наблюдаемых эффектов с учетом механизма химических процессов, протекающих на кремниевом аноде.