Название:	Электронно-стимулированная десорбция атомов и ионов щелочных и редкоземельных металлов с тонких полупроводниковых пленок
Грантодатель:	РФФИ
Область знаний:	02-Физика и астрономия
Научная дисциплина:	02-204 Поверхность и тонкие пленки
Ключевые слова:	электронно-стимулированная десорбция, полупроводниковые пленки, тугоплавкие металлы, адсорбированные слои, щелочные и редкоземельные металлы, золото, масс-спектрометры, энергоанализаторы
Время действия проекта:	2007-2009
Тип:	исследовательский
Руководитель(и):	Агеев,ВН
Подразделения:	лаб. физики адсорбционно-десорбционных процессов (Галля,НР)
Код проекта:	07-02-00284
Финансирование 2007 г.:	250000
Финансирование 2008 г.:	0
Финансирование 2009 г.:	0
Исполнители:	Афанасьева,ЕЮ: лаб. физики адсорбционно-десорбционных процессов (Галля,НР) Кузнецов,ЮА: лаб. физики адсорбционно-десорбционных процессов (Галля,НР) Потехина,НД: лаб. физики адсорбционно-десорбционных процессов (Галля,НР) Соловьев,СМ Шарипова,НМ : лаб. физики адсорбционно-десорбционных процессов (Галля,НР)

Проект посвящен изучению механизма электронно-стимулированной десорбции атомов и ионов щелочных и редкоземельных металлов из адсорбированных слоев на поверхности полупроводниковых тонких пленок, выращенных на поверхности золота, напыленного на тугоплавкие металлы. Измерения будут выполнены времяпролетным методом с помощью детектора на основе поверхностной ионизации. Будут измерены выход и энергораспределения атомов и ионов щелочных и редкоземельных металлов в зависимости от степени покрытия золота щелочным и редкоземельным металлом, толщины пленки золота, энергии бомбардирующих электронов, температуры подложки в процессе напыления адсорбата и осуществления электронно-стимулированной десорбции. На основе этих данных будет развита модель электронно-стимулированной десорбции нейтральных частиц с целью количественного описания этого явления и его использования для модификации поверхности без изменения температуры.