Хлоридная газофазная эпитаксия нитрида галлия на кремнии: влияние промежуточного SiC слоя
2008 , Письма ЖТФ, т.34, 11
ISSN: 0320-0116

Страницы: 54 - 61
Авторы:Аксянов,ИГ; Бессолов,ВН; Жиляев,ЮВ; Компан,МЕ; Коненкова,ЕВ; Кукушкин,СА; Осипов,АВ; Родин,СН; Феоктистов,НА; Шарофидинов,Ш; Щеглов,МП
Авторы (ФТИ):Аксянов,ИГ; Бессолов,ВН; Жиляев,ЮВ; Компан,МЕ; Коненкова,ЕВ; Кукушкин,СА; Осипов,АВ; Родин,СН; Феоктистов,НА; Щеглов,МП
Подразделения: