Хлорид-гидридная газофазная эпитаксия полуполярного слоя AlN(1012) на наноструктурированной подложке Si(100)
2020 , Письма ЖТФ, т.46, 2
ISSN: 0320-0116

Страницы: 12 - 14
Авторы:Бессолов,ВН; Компан,МЕ; Коненкова,ЕВ; Пантелеев,ВН
Авторы (ФТИ):Бессолов,ВН; Компан,МЕ; Коненкова,ЕВ; Пантелеев,ВН
Подразделения:
DOI:http://dx.doi.org/10.21883/PJTF.2020.02.48944.18061
Полный текст:http://dx.doi.org/10.21883/PJTF.2020.02.48944.18061