Metalorganic vapor phase epitaxy of AlN layers on a nanostructured AlN/Si(100) template synthesized by reactive magnetron sputtering
2024
, Tech. Phys., v.69, 6
ISSN: 1063-7842
Страницы:
882 - 885
Авторы:Bessolov,VN; Kompan,ME; Konenkova,EV; Orlova,TA; Rodin,SN; Solomnikova,AV
Авторы (ФТИ):Bessolov,VN; Kompan,ME; Konenkova,EV; Orlova,TA; Rodin,SN
Подразделения: DOI:https://doi.org/10.61011/TP.2024.06.58830.296-23
Полный текст:https://doi.org/10.61011/TP.2024.06.58830.296-23
Авторы:Bessolov,VN; Kompan,ME; Konenkova,EV; Orlova,TA; Rodin,SN; Solomnikova,AV
Авторы (ФТИ):Bessolov,VN; Kompan,ME; Konenkova,EV; Orlova,TA; Rodin,SN
Подразделения: DOI:https://doi.org/10.61011/TP.2024.06.58830.296-23
Полный текст:https://doi.org/10.61011/TP.2024.06.58830.296-23















