Полуполярный нитрид алюминия: эпитаксия объемного материала на наноструктурированной кремниевой подложке
2026 , Письма ЖТФ, т.52, 4
ISSN: 0320-0116

Страницы: 25 - 28
Авторы:Бессолов,ВН; Компан,МЕ; Коненкова,ЕВ; Шарофидинов,ШШ; Соломникова,АВ; Щеглов,МП
Авторы (ФТИ):Бессолов,ВН; Компан,МЕ; Коненкова,ЕВ; Шарофидинов,ШШ; Щеглов,МП
Подразделения:
DOI:https://doi.org/10.61011/PJTF.2026.04.62321.20500
Полный текст:https://doi.org/10.61011/PJTF.2026.04.62321.20500