Название: | Развитие материаловедческой методики диагностики параметров пленок и многослойных структур нанометровых толщин по рассеянию ионов средней энергии |
Грантодатель: | СПбНЦ РАН |
Время действия проекта: | 2007-2007 |
Тип: | исследовательский |
Руководитель(и): | Афросимов,ВВ |
Подразделения: | |
Код проекта: | 2.46 |
Финансирование 2007 г.: | 60000 |