Разработка комплекса взаимодополняющих методов диагностики параметров квантово-размерных твердотельных гетероструктур для определения их геометрических размеров, элементного и фазового состава, кристаллической структуры, оптических свойств, исследования качества интерфейсов и транспортных свойств носителей заряда на основе анализа сигналов, возникающих при взаимодействии ионных, электронных и рентгеновских пучков с этими нанообъектами. Развитие методов локальной диагностики электро-физических параметров наногетероструктур с помощью сканирующей зондовой микроскопии и емкостной спектроскопии.